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请教多晶硅中的表金属和体金属的分别

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发表于 2009-5-31 11:16:50 | 显示全部楼层 |阅读模式
多晶硅检测中金属杂质分为表金属和体金属,不知两者之间主要区别是什么?
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发表于 2009-6-3 15:48:58 | 显示全部楼层
为什么要测多晶硅的表金属啊?一般是测单晶的表金属吧?要表金属数据做什么用途呢?一个溶表面的,一个溶整体的,多个面积累就成体,呵呵
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发表于 2009-6-3 17:49:18 | 显示全部楼层
表金属是反应生产、包装环境对产品的污染,体金属是表达产品内部金属杂质含量,两者对下沿工序质量均有影响。
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 楼主| 发表于 2009-7-22 11:25:51 | 显示全部楼层
可能理解上有偏差吧,表金属可以用ICP-MS测,而体金属只能用中子活化法测,这说明两者之间肯定有区别的。
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发表于 2010-1-19 17:52:25 | 显示全部楼层
体金属有专门的鉴定部门吗?
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