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如何避免硅棒生长偏心现象

发表于 2010-1-15 08:37:37 | 显示全部楼层

偏心是气流分布、温度不匀造成的。除设计问题不可改变外，还可能是进气孔堵塞。实际生产中应维持炉内稳定的气场热场才能避免偏心。特别是炉壁的温度控制

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