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大化工论坛»大化工论坛 › 专业技术分类 › 多晶硅新能源 › 硅烷制备多晶硅
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硅烷制备多晶硅

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发表于 2010-2-4 15:04:15 | 显示全部楼层 |阅读模式
请问，有没有关于硅烷法制备多晶硅的机理资料？副反应主要有哪些？
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发表于 2010-2-4 15:22:34 | 显示全部楼层
没有副反应，硅烷除了变成硅不会变成其它东西
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 楼主| 发表于 2010-2-5 08:00:41 | 显示全部楼层
我了解的硅烷法制备多晶硅，先是硅烷分解成中间产物，然后由中间产物生产多晶硅。其中，中间产物直接可能会发生一些副反应。
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