氧化夹层是怎么回事？

发表于 2011-11-7 11:09:34

产出来的硅棒基本上整台炉子都出现氧化夹层，这是什么原因造成的？

发表于 2011-11-8 12:31:11

回复 1# 回味三国liu
安装
硅芯的时候没将硅芯表面处理干净，或是没带一次性手套导致硅芯表面被污染，总而言之就是硅芯被污染了

发表于 2011-11-10 15:50:32

跟进料量，进料温度有没有关系啊！

发表于 2011-11-11 11:02:47

硅芯槽出现大量颜色层不一定全是氧化硅，还有氮化硅，与硅芯击穿过程有一定关系

发表于 2012-2-21 14:03:46

skymirror 发表于 2011-11-11 11:02

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硅芯槽出现大量颜色层不一定全是氧化硅，还有氮化硅，与硅芯击穿过程有一定关系
氧化夹层和氮化硅颜色上周末区分，氮化硅生成温度多少？

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