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多晶硅发展状况

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发表于 2010-2-24 15:30:08 | 显示全部楼层 |阅读模式
近几年国内多晶硅的发展迅速,但大都采用改良西门子法,能耗消耗较大,流化床法制备多晶硅在国内应用的很少,有没有关于硅烷在流化床中分解生成多晶硅的资料和数据?
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发表于 2010-2-24 16:17:09 | 显示全部楼层
国内浙江中宁好像用的是流化床法。据说能耗很少。实际情况就不清楚了。
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 楼主| 发表于 2010-2-24 16:31:47 | 显示全部楼层
用流化床法生产多晶硅能耗要比改良西门子法低的多,要是加上后处理工序的话,不知道能节能多少。
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发表于 2010-2-24 17:23:43 | 显示全部楼层
国内浙江中宁好像用的是流化床法。
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