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硅烷纯度分析仪器

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发表于 2010-2-25 16:49:27 | 显示全部楼层 |阅读模式
请教各位使用什么样硅烷纯度分析仪器,有在线分析的吗?
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发表于 2010-2-26 08:44:17 | 显示全部楼层
具体杂质具体分析,一般都用GC
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 楼主| 发表于 2010-3-1 08:44:11 | 显示全部楼层
2# bake8
我对这方面不太了解,能说说具体的型号吗?
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