热氢化

发表于 2010-2-6 11:37:42

我们公司的氢化炉，总是开不正常，主要是绝缘值经常没有原因就降低，甚至跳停，还请个位提点建议，到底是哪里出了问题呢？

发表于 2010-2-6 16:42:31

在投料前一定要经过严格的置换空少流程，最好带电通氢气空烧1个星期以上，另外要控制好四氯化硅和氢气的配比，避免氢气比例过高沉积多晶硅在发热体上。

发表于 2010-3-1 17:26:17

啥叫热氢化，只听过没见过

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