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大家一般都是怎样计算TCS的转化率的

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发表于 2010-2-28 19:44:13 | 显示全部楼层 |阅读模式
有的是按照消耗的TCS和得到的多晶硅来计算,还有别的方式没?
有没有觉得很准确的计算手段?
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发表于 2010-2-28 20:52:21 | 显示全部楼层
可以取样,通过分析成分来计算
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发表于 2010-3-1 22:49:01 | 显示全部楼层
要算转化率应该是投入的TCS量与得到的多晶硅之间来计算,通过硅原子的平衡,可以知道有多少TCS转化成多晶硅,其他不是没有参与就是生产副产物了,不能算为TCS的转化率(一般来说)。
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发表于 2010-3-2 08:09:24 | 显示全部楼层
有在线色谱就可以。。。。。。。。。
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发表于 2010-3-2 13:37:47 | 显示全部楼层
转化率计算:
转化率(conversion efficiency)=100X硅芯上沉积的硅(Si deposited)/输入还原炉的硅(Si input)
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