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热氢化的工艺流程

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发表于 2010-3-6 18:58:56 | 显示全部楼层 |阅读模式
我想不明白我们多晶硅还原和多晶硅氢化它的进料方向为什么会不同呢,一个上上面进料一个是下面进料,它这种进料方式是为什么呢?还请那为高手帮忙解决、讨论一下~~
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