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TCS还原成单质硅的计算?

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发表于 2010-3-9 17:03:34 | 显示全部楼层
41.00是进入还原炉的TCS气体,后面的则是还原炉出口可分离的尾气组成。
http://blog.sina.com.cn/polysilicontech
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发表于 2010-3-10 09:10:15 | 显示全部楼层
谁能提供热氢化炉的计算过程?
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发表于 2010-3-10 09:14:10 | 显示全部楼层
8# yuehan
Si:SiCL4=1:11是否偏小?不是说比值在15-20
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发表于 2010-3-10 09:19:38 | 显示全部楼层
元素守恒,质量守恒。你通入的TCS质量,H2质量(Kg/h)=硅棒质量+尾气,硅棒质量你可以算出来吧,尾气组分可以检测出百分比(体积),就可以粗算出来啦。或者你可以以一个生产周期来计算,再平均嘛
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