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还原反应反应物TCS和氢气提量的方法

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发表于 2010-3-11 11:52:27 | 显示全部楼层 |阅读模式
小弟在多晶硅还原车间工作了一段时间了,但是对于还原反应提量的方法和原则还是一知半解,我知道不同生产阶段硅棒不断长大,量根据反应物配比是不断向上加的,怎么加的。希望各位大侠不吝赐教!
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