热氢化在什么条件下炉内容易产生无定型硅，怎么避免？

热氢化在什么条件下炉内容易产生无定型硅，怎么避免？

温度、配比控制低了容易产生无定型硅

温度影响是最大的吧，主要是要注意温度的控制，在开炉初期不要急于进料，在氢气状态下让温度升高到反应温度以后再慢慢进料就不会有什么问题了  停炉或者急停的时候也要注意 首先切断物料  保持氢气状态较长时间

主要还是反应温度，操作上主要是要控制好开停车时不太快。

主要还是反应温度，操作上主要是要控制好开停车时不太快。