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解决三氯氢硅生产中的堵塞问题

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发表于 2010-3-17 10:13:22 | 显示全部楼层 |阅读模式
在三氯氢硅生产中,现在最难以解决的就是高氯化物冷凝堵塞的问题,请问有什么方法可以解决吗?
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发表于 2010-3-17 20:01:59 | 显示全部楼层
请问楼主说的是合成工序吗?说清楚一点啊!
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发表于 2010-3-18 20:42:17 | 显示全部楼层
楼主指的应该是传说中的“硅油”吧,它容易在还原炉的低温部位生成,确实不好处理
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 楼主| 发表于 2010-3-20 17:13:14 | 显示全部楼层
恩,合成部分 的压力很大呀,希望大家提提意见撒
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发表于 2010-3-21 17:48:20 | 显示全部楼层
合成的三氯氢硅就有聚氯硅烷,以及一些金属氯化物和硅粉等,是比较麻烦的事,用布袋布袋过滤,并定期更换滤布。
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发表于 2010-3-23 16:06:15 | 显示全部楼层
如果原料气中水分含量比较高的话,就更容易堵塞了。
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