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ICP与紫外分光度计对B的检测

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发表于 2010-3-30 22:24:42 | 显示全部楼层 |阅读模式
我问一下大家,ICP和紫外分光光度在检测TCS里面的B含量时,哪一个准确些,还有他们各自的优缺点?
  请大家讨论一下,你们所在的多晶硅厂和三氯氢硅厂检测B的含量采用的是什么检测设备?
       可以的话,大家在说说你们所在的厂对于B含量控制在多少以内?
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 楼主| 发表于 2010-3-31 17:10:24 | 显示全部楼层
怎么都没有人来谈谈的啊?
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发表于 2010-4-1 14:01:24 | 显示全部楼层
肯定是ICP比较准确啊,看哪台设备复杂,肯定精度高喽。紫外分光光度计,是比较粗糙的,只能达到ppm,甚至还达不到
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 楼主| 发表于 2010-4-2 19:40:47 | 显示全部楼层
那你所在的公司,对TCS里面B含量的控制室多少呢?
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