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关于硅棒横截面有裂纹和硅棒氧化层的讨论

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发表于 2010-4-4 22:07:58 | 显示全部楼层 |阅读模式
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发表于 2010-4-4 22:35:21 | 显示全部楼层
氧化层:主要是炉内进入水汽或氧,来源有底盘或炉壁冷却水渗漏,或氢气氧含量高
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