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还原炉内硅棒的温度测定方法

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发表于 2010-4-5 14:44:46 | 显示全部楼层 |阅读模式
小弟在这问问大家,你们所在的公司对于还原炉内硅棒的温度是用什么方法测定的啊!理论上都是说控制在1080——1100度,但是真正在生产的过程中,你们是怎么测定炉内的温度的啊?使用的是什么测定仪器,还是靠有经验人员的观察?
     还有,关于多晶硅帮表面产生玉米状的情况,大家有什么好的方法解决啊?
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发表于 2010-4-5 18:19:23 | 显示全部楼层
我们是用的红外测温仪和肉眼的方法,效果蛮好;防止玉米棒,要控制好摩尔比和流量,还有温度。
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发表于 2010-4-5 18:32:27 | 显示全部楼层
我们公司用的是红外测温仪,但是效果不好,经常有测不准的时候,很多时候也是用肉眼凭经验看,建议用光学测温仪1
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发表于 2010-4-6 20:55:14 | 显示全部楼层
很经典:红外测温仪+肉眼…… 呵呵 我们貌似也是采用的这个  不过  具体效果如何 还不清楚,因为还没有开始使用! 呵呵
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 楼主| 发表于 2010-4-7 17:17:34 | 显示全部楼层
温度测不准,就会影响硅棒表面的外观哦!
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