三氯氢硅合成中湿法效率大家讨论下，湿法效率如何啊？感觉会有三氯氢硅气体被四氯化硅带走请教湿法温度和压力大概是多少？

发表于 2010-4-19 22:57:46

大家讨论下，湿法效率如何啊？
感觉会有三氯氢硅气体被四氯化硅带走
请教湿法温度和压力大概是多少？

发表于 2010-4-20 13:49:41

三氯氢硅气体中会有更多四氯化硅

发表于 2010-4-21 20:55:15

三氯氢硅气体中会有更多四氯化硅
lc521000 发表于 2010-4-20 13:49

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那应该是液态四氯化硅气化的呢？
还是气态三氯氢硅液化的呢？

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