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三氯氢硅、四氯化硅的充装方案

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发表于 2010-5-3 00:03:10 | 显示全部楼层 |阅读模式
求助:三氯氢硅、四氯化硅用槽车装载的充装方案,有谢
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发表于 2010-5-3 12:03:09 | 显示全部楼层
以前这个问题我也看过有人在提过,充装关键要注意管道的选用,氮压的控制,防止充装过快,防止泄露
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发表于 2010-5-3 13:01:09 | 显示全部楼层
选个磁力泵就可以了,充装时注意排压
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