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浅谈三氯氢硅工艺

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发表于 2008-1-24 00:19:14 | 显示全部楼层 |阅读模式
三氯[wiki]氢[/wiki]硅生产工艺流程  
三氯氢硅合成。将硅粉卸至转动圆盘,通过管道用气体输送至硅粉仓,再加入硅粉干燥器,经过圆盘给料机并计量后加入三氯氢硅合成炉。在三氯氢硅合成炉内,温度控制在80—310℃,硅粉和氯化氢发生反应,生成三氯氢硅和四氯化硅。生成的三氯氢硅和四氯化硅气体经沉降器、旋风分离器和袋式过滤器除去粉尘及高氯硅烷,经水冷后经隔膜压缩机加压,再用-35℃冷媒冷凝为液体。不凝性气体通过液封罐进入尾气淋洗塔,经酸碱淋洗达标后排放。
三氯氢硅分离。三氯氢硅和四氯化硅混合料(三氯氢硅含量为80—85[wiki]%[/wiki])进入加压塔,采用两塔连续提纯分离,通过控制一定的[wiki]回流比[/wiki],最终得到三氯氢硅含量为99%以上的产品和四氯化硅含量为95%以上的副产物。
含尘废气主要是输送硅粉的氮气,先经布袋除尘回收硅粉,然后经水洗涤,洗涤废水经沉淀后循环使用,尾气洗涤后排入大气。布袋除尘器除尘率为99%,洗涤除尘率按50%计,总除尘效率达到99.5%,经处理后达标排放。不凝气体主要含有保护气体,其余还含有少量的氯硅烷、氯化氢等。
经过低温冷凝后剩余的不凝气送废气处理装置,氯硅烷系列遇水迅速分解成硅酸和氯化氢,氯化氢气体先被稀盐酸循环吸收为浓盐酸回收使用,微量部分被碱液吸收、反应。废气主要成份有氮气,废气经淋洗处理后,通过车间排气筒达标排放。在满足要求的前提下尽量选用转速低、噪声小的[wiki]设备[/wiki];同时对鼓风机设独立的隔声间,与所在的楼层分开,以减轻振动而产生的噪声;对空压机、鼓风机、泵等进气管装消音器,并设隔声操作室,减少室内噪声污染,改善工人作业[wiki]环境[/wiki]。
烟筒设置足够的高度,使烟气的排放符合国家《大气污染物综合排放标准》二级标准的要求。
[ 本帖最后由 LHY8771 于 2009-2-10 13:34 编辑 ]
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发表于 2008-1-29 16:32:44 | 显示全部楼层
笔者认为三氯氢硅合成单元中HCL的合成没有提及,同时回收的硅粉活性极高,很容易造成[wiki]爆炸[/wiki]。
现在国内生产三氯氢硅的大厂家如唐山**厂,都使用了HCL回收系统。
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发表于 2008-3-9 08:42:44 | 显示全部楼层
请问硅粉的活性很高为什么会容易引起爆炸呢?有没有预防措施或者控制指标,请赐教
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发表于 2008-3-9 14:21:02 | 显示全部楼层
原帖由 hanshan 于 2008-3-9 08:42 发表
                                
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请问硅粉的活性很高为什么会容易引起爆炸呢?有没有预防措施或者控制指标,请赐教

这里的爆炸是需要根据具体情况而定的。。
回收硅粉的活性是很高。但是如果是少量切敞开的地方,
只会有小火星。温度高点而已

因为这类硅粉是从合成系统中排出来的,多少都夹带了三氯氢硅,而三氯氢硅又易与空气中的水分水解出氢气,切放热。
氢气的爆炸极限范围很宽。所以有可能会引起爆炸。
但是基本不会出现爆炸情况。
要不然那么多三氯氢硅厂家,也没有听说有一家因为硅粉的活性太高而引起爆炸,你说对吗?
安全是很重要的,但是关键是预防!
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发表于 2008-3-9 17:22:31 | 显示全部楼层
活性硅粉当然活性高了,硅铁块儿的活性肯定就低了
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发表于 2008-10-17 14:23:54 | 显示全部楼层
标题应该是:
浅谈三氯氢硅生产工艺
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发表于 2012-5-7 10:27:38 | 显示全部楼层
谢谢楼主分享,但是这些只是简介,不知道是不是有些更具体的介绍?
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发表于 2012-5-7 12:08:33 | 显示全部楼层
说实话,与实际的生产还是有差别的,实际生产的温度等工艺及工艺流程控制,各个企业都不一样,所以成本也就不一样,对于杂质的去除也没有涉及
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发表于 2012-5-7 12:57:56 | 显示全部楼层
好像就是大致提及了一下,有没有具体点的。比如怎样才能让三氯氢硅的合成率提高啊什么,,
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