二氯二氢硅如何处理？

发表于 2010-5-25 00:57:25

在整个多晶硅生产过程中，产生大量的二氯二氢硅而得不到有效的处理，在系统中循环累积很不安全。在提纯过程中影响三氯氢硅的质量，导致多晶硅质量部合格。

发表于 2010-5-25 09:25:01

原则上DCS的量不大于10%对反应时没有影响的，所以也未必需要控制吧？此外，由于其其沸点比较低，可在相关精馏单元通过排低废处排除掉

发表于 2010-5-25 14:31:12

dcs 进入到还原炉里对反应应该有益的吧？！

发表于 2010-5-25 16:38:15

看里面三氯氢硅含量，多的话可以再提纯；少的话回收没有意义，没有没法处理，直接碱液中和

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