有关多晶硅生产中使用湿氮气

各位前辈：可以给我讲解一下有多晶硅生产中使用湿氮气的理论哦！如果有相关的资料可以分享请给我发一份哦我的邮箱是：yanpeng445818381@163.com
谢谢哦！

你确定是湿氮气吗？还是湿氢气？、、、用来除去高沸物的，微量水和聚氯硅烷、金属氯盐反应，形成塔斧残液除去

湿氮气是用来除硼、磷和一些金属离子的，氮气起的作用是稀释水蒸汽，但其配比是个机密，因为水含量多了会造成氯硅烷的浪费，少了则没有效果。原理就是利用了水解产生的多硅酸的吸附性…

在还原这块真没见过
大家多说说啊