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还原炉视镜变黑是怎么回事

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发表于 2010-5-28 16:35:59 | 显示全部楼层 |阅读模式
最近,我们的还原炉经常出现视镜变黑,变模糊的现象,一般是上视镜先变黑,但是一旦停炉减进料就慢慢变清了,有哪位坛友遇到过此现象大家可以讨论一下原因
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发表于 2010-5-28 21:56:39 | 显示全部楼层
我想原因可能会有几点
1,窥视镜的冷介量通的较少致使周围温度很低而导致有硅油出现,因为硅油一般是出现在温度低于300度的一些死角的
2,窥视孔的氢气通入量较少,从而导致在窥视孔的氢气三氯氢硅配比量较小,最后生成少量无定形硅生成,而当减少三氯氢硅的通入量时候就避免了无定形硅的产生
3,还有一种我觉得一般是不可能的,就是氢气的纯度不能够达标,含氧量较高在进入炉体内发生氧化产生黑烟
4,还有一种也不太可能,就是窥视孔有漏点,有十分少量的空气进入炉体,这个就比较麻烦,必须马上停炉检修了
总之出现这种情况一定要考虑的方方面面的,然后各个击破排除,最后解决问题
不知道我的回答你满意不?
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