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大化工论坛»大化工论坛 › 专业技术分类 › 多晶硅新能源 › 从二氧化硅怎么转化成三氯氢硅
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从二氧化硅怎么转化成三氯氢硅

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发表于 2010-5-29 20:33:59 | 显示全部楼层 |阅读模式
给个PFD也好啊。实在不行给个反应方程式也行
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发表于 2010-5-30 10:54:54 | 显示全部楼层
SiO2+C=Si+CO2+SiC+CO冶金硅工艺
Si+HCl=SiHCl3+SiH2Cl2+SiCl4 三氯氢硅工艺,关键是温度控制产物分布以及催化剂的选择
最后就是SiHCl3的精馏纯化
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