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三氯氢硅生产常用的分析设备

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发表于 2010-5-4 14:42:07 | 显示全部楼层 |阅读模式
各位大侠们,请问在三氯氢硅生产企业常用的分析设备有哪些?哪些是必备的?
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发表于 2010-5-4 20:59:32 | 显示全部楼层
MS  LCP -MS             ,
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 楼主| 发表于 2010-5-5 09:44:47 | 显示全部楼层
楼上的,请问MS  LCP -MS 是什么?
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发表于 2010-5-14 14:31:06 | 显示全部楼层
大家说说啊,我也不太了解
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发表于 2010-5-14 15:12:03 | 显示全部楼层
主要是气象色谱,OES,UV等,MS一般不需要
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发表于 2010-5-14 22:55:17 | 显示全部楼层
要看你生产三氯氢硅的方法以及产品要求。
一般原料和产品的金属测量要用到OES\AES,要求高的用MS,中间产品三氯氢硅\四氯氢硅\磷一般用GC测定,B用UV测定。
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发表于 2010-5-26 13:27:10 | 显示全部楼层
主要有有ICP-MS   GC
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发表于 2010-6-9 16:07:08 | 显示全部楼层
还有红外光谱仪 粒度分析仪  少子寿命仪等
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