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一种利用四氯化硅生产三氯氢硅的装置

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发表于 2010-6-26 21:20:22 | 显示全部楼层 |阅读模式
一种利用四氯化硅生产三氯氢硅的装置
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发表于 2010-6-27 00:07:13 | 显示全部楼层
我看了一下,就觉得这是个什么东西哟,那不是要有两套还原炉来控制整个流程,这另一套还原炉用什么来作为热载体呀???肯定不能再用硅芯了
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