还原反应反应物TCS和氢气提量是怎么提量的？

发表于 2010-7-6 18:46:37

小弟在多晶硅还原车间工作了一段时间了，但是对于还原反应提量的方法和原则还是一知半解，我知道不同生产阶段硅棒不断长大，量根据反应物配比是不断向上加的，怎么加的。希望各位大侠不吝赐教！

发表于 2010-7-7 11:47:27

一般来说随着时间推移,配比一直调小,量增加,几十小时以后稳定通

发表于 2010-7-8 13:06:32

敢问楼上，开始配比是多少？为什么要一直调小然后稳定呢？稳定后大概是多少？是比较常见的3：1吗？

发表于 2010-7-9 12:55:16

2楼的配比为什么要一直降低配比，理由？
对于楼主的问题，进料量是根据硅棒的表面积、沉积速度来定混合气量的

发表于 2010-7-9 21:03:10

回复 4# maxwell_112
随着时间的推进，硅棒表面积在增大，需要物料就多，他现在在成长阶段，你把配比调小，TCS就变多，现在及时把电流跟上，棒张的快，而且后面长到大棒的时候，把配比调大就好了

发表于 2010-7-10 10:06:15

回复 5# lisame10
那你们的还原炉是不是每台炉子都配备一台汽化器啊？我们的是好几台炉子共用一台汽化器，各炉生长时间都不一样，所以没法调整配比。

发表于 2010-7-10 19:56:47

根据硅棒生长阶段的不同现在大多数都是每个时间断都有不同的进料量，而且每个厂家的量都不一样，越往后进料量越大，但提料的时候要注意硅棒温度

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