硅棒的污染

我*司有次一个还原炉停车时，里面的硅棒的表面出现一层棕黄色的物质，但没分析出是什么。在这问下各位，希望多多介绍。

棕黄色，你可以考虑下是否为si3N4。特别是还原炉在置换、憋压过程中如果氮气没排完，就可能出现这种物质。

楼上的朋友，如果是因为氢气置换氮气不彻底，那么氮化硅的生成也不会存在于停炉时的硅棒表面…我认为这是由于停炉时没有及时断TCS，导致TCS在700～800度时被还原成了无定形硅覆盖在表面。

应该是二氧化硅，又被氧化了

开炉的时候硅棒已经被冷却到常温了，这个时候再被氧化应该不是那么容易的事，即使有也不会那么明显，而且颜色也不会是棕黄色，我这么认为。