多晶硅的环保问题

多晶硅生产采用改良西门子法，但是氯化工艺——是将不纯的氯硅烷提纯为STC，如果工艺设计中取消了该项工艺——氯化工艺，将此氯硅烷全部进入淋洗工艺，而淋洗工艺原来设计处理能力没有考虑此股氯硅烷的量，这样的工艺改变会影响多晶硅的生产吗？如果会，应该采取些什么措施？

自我感觉问题不是很大，因为在生产过程中生成的氯硅烷量不会很多，总含量都不会超过1%。问题是为什么要提纯呢？有些成分对于工艺来说没有什么影响，甚至是可以增大转化效率的物质，如果说含量大到可以影响产品质量或者工艺的话，提纯出来的量也不一定就值得去做一个氯化的装置吧？
顺便问下，你们是用何种设备这样转化提纯的？

自我感觉问题不是很大，因为在生产过程中生成的氯硅烷量不会很多，总含量都不会超过1%。问题是为什么要提纯呢？有些成分对于工艺来说没有什么影响，甚至是可以增大转化效率的物质，如果说含量大到可以影响产品质量或者工艺的话，提纯出来的量也不一定就值得去做一个氯化的装置吧？
顺便问下，你们是用何种设备这样转化提纯的？