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目前有没有四氯化硅氢化还原的成熟工艺？

发表于 2010-7-30 15:03:49 | 显示全部楼层 |阅读模式

请教各位大虾，目前有没有四氯化硅氢化还原成三氯氢硅的成熟工艺啊？

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发表于 2010-7-30 17:01:30 | 显示全部楼层

热氢化冷氢化都成熟，只是看操作经验够不够...

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发表于 2010-7-31 09:33:23 | 显示全部楼层

有，冷热氢化都有

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楼主| 发表于 2010-7-31 10:58:06 | 显示全部楼层

一套氢化反应有哪些装置呢？
成本是多少？
转化率是多少？

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