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还原炉内的副反应

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发表于 2010-6-11 12:03:26 | 显示全部楼层 |阅读模式
各位大虾们,还原炉中TCS热分解反应具体有哪些?他们各自的反应温度及其一些反应条件的标注,能详细告知吗?
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发表于 2010-7-31 11:46:56 | 显示全部楼层
在900-1000°时,热分解反应是占主导地位的
2sihcl3---si+3sicl4+2h2
2sihcl3---si+sicl4+2hcl
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发表于 2010-7-31 15:16:56 | 显示全部楼层
中国硅业在线论坛,涉及金属硅、有机硅上下游产业、多晶硅上下游产业,辐射整个硅材料产业,国家硅材料实验室合作平台!http://www.sizxbbs.com/index.php
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