多晶硅还原钟罩高压清洗工艺讨论

大家来讨论一下各自的清洗工艺吧。我这边是清水+去离子水250公斤三维喷头清洗，然后风机烘干，效果还不错，就是视窗洗不干净。还有没用更好的流程方法？

我接触的方法和楼主基本一样 水洗。至于视镜孔建议单独配小型清洗喷头。