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大化工论坛»大化工论坛 › 专业技术分类 › 多晶硅新能源 › 三氯氢硅合成相关
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三氯氢硅合成相关

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发表于 2010-8-4 15:52:07 | 显示全部楼层 |阅读模式
采用什么方法控制三氯氢硅合成炉才能得到高品质的TCS？
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发表于 2010-8-4 16:26:43 | 显示全部楼层
这个怎么控制？不同的公司合成TCS的炉子、技术方法都不太一样啊
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 楼主| 发表于 2010-8-4 16:54:25 | 显示全部楼层
回复 3# 风之铃音
    比较难掌握的一门技术。探索之中……
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发表于 2010-8-4 19:10:46 | 显示全部楼层
主要是控制温度，你们在出口弄个在线分析仪，看在什么温度下TCS的组分占得最高
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发表于 2010-8-9 10:56:19 | 显示全部楼层
把合成炉的温度控制好就可以了，一般转化率都能达到85%以上
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