三氯氢硅尾气干法回收工艺

发表于 2010-8-16 13:06:26

有谁能告诉我关于，三氯氢硅尾气回收操作，和工艺流程！
什么是尾气干法回收工艺啊！

发表于 2010-8-16 21:40:34

一句话，说不清楚，要看点资料的，

发表于 2010-8-16 23:42:35

就是回收过程不接触水的回收

发表于 2010-8-17 11:00:12

简单的说：干法回收三氯氢硅尾气是指传统意义上的变温变压吸附，通过分子筛对组分气体选择吸附后提纯需要产品气，达到相应指标。

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