还原炉中的化学反应主要是分解反应还是还原反应

目前的工艺基本都是热分解反应占主导

还原反应大概1100度左右，热分解大概在900多度，所以关键是控制好温度。

回复 1# sansir
热力学上说，加热有利于反应正向进行；从动力学上说，减压有利于反应正向进行。但是，加压，有利于气体流速，有利于气体沉积速率增大，所以，综合考虑，分解温度要保证氯硅烷能够裂解，加压有利于提高产率。