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关于尾气回收的氢气质量问题

发表于 2010-9-9 01:00:43 | 显示全部楼层 |阅读模式

尾气回收的氢气中具体有什么影响多晶硅品质
会有P/B杂质吗

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发表于 2010-9-9 09:50:18 | 显示全部楼层

应该不会有！但是没有人做具体的分析！

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发表于 2010-9-9 10:00:50 | 显示全部楼层

回收氢气中一般不会有B/ P,它们都在还原炉里反应或者被氯硅烷吸收了，回收氢中可能带有吸附塔中的碳出来

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