电子级三氯氢硅吸附法除杂

发表于 2010-9-2 11:38:48

本帖最后由 again 于 2010-9-2 11:46 编辑
最近开始调研吸附法提纯三氯氢硅，大家有没有从事这方面的工作的多多交流!

国内都有哪些企业已经有吸附法的产业化应用？采用何种技术路线？效果如何？希望大家分享一下！

发表于 2010-9-2 11:41:37

刚刚起步，打算从小试选取验证吸附材料做起。目前所知的吸附材料也大概有硅胶、树脂、氧化铝等，但效果不清楚如何。
另外，吸附是配合精馏的，在前端或者后端。
希望大家多多发言！

发表于 2010-9-2 12:01:51

我们这有5组吸附塔配合精馏，精馏出的产品最后经过吸附塔，我们试运行了一段时间，效果不是很好，而且吸附剂的更换是个问题，置换不可能彻底，有安全隐患。

发表于 2010-9-2 15:03:36

目前吸附法工艺不是很完善，吸附剂选择性少，再生和解吸效果不理想，更换比较频繁麻烦。

发表于 2010-9-6 10:09:37

本帖最后由 hht666 于 2010-9-28 10:41 编辑
可以用活性炭吸附

发表于 2010-9-10 08:13:58

国内有没有成熟技术？

发表于 2010-9-10 09:53:48

三楼坛友，哪个区域的？“有5组吸附塔配合精馏”，可见胆识！可否简要叙述一二。。。。。。

发表于 2010-9-10 11:07:04

楼主说的是要用吸附技术将合成炉出来经冷却，三氯氢硅这种物质提纯到较高纯度吗？我们公司目前做的是，运用变温（变压）吸附技术分离合成炉或还原炉尾气中的氢气与三氯氢硅、氯化氢，让氢气穿过吸附床层得以净化，氯化氢与三氯氢硅解吸后进入回收系统。氢气纯度可达99%甚至更高。三氯氢硅与氯化氢进一步分离或返回前面的循环系统。这种装置在多家多晶硅或三氯氢硅厂运行一两年了。有兴趣可加我QQ讨论123807447

发表于 2010-9-10 11:07:10

楼主说的是要用吸附技术将合成炉出来经冷却，三氯氢硅这种物质提纯到较高纯度吗？我们公司目前做的是，运用变温（变压）吸附技术分离合成炉或还原炉尾气中的氢气与三氯氢硅、氯化氢，让氢气穿过吸附床层得以净化，氯化氢与三氯氢硅解吸后进入回收系统。氢气纯度可达99%甚至更高。三氯氢硅与氯化氢进一步分离或返回前面的循环系统。这种装置在多家多晶硅或三氯氢硅厂运行一两年了。有兴趣可加我QQ讨论123807447

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