尾气冷凝的氯硅烷处理

可以再管道的最低点价格小储罐回收精馏，

冷凝的氯硅烷回收，再次精馏，可以减少物料浪费.

我倒认为回收的意义不大，因为这部分物料本身就是低沸点含有大量三氯化硼和二氯二氢硅的物料，
回收再提纯还是会从塔顶分离出来，白白浪费了能源，搞不好反倒把好料给搞脏了。