同一炉硅棒。为什么有的硅棒很脆，有的全很硬，这个是什么原因造成的？

发表于 2010-9-9 12:03:24

同一炉硅棒。为什么有的硅棒很脆，有的全很硬，这个是什么原因造成的？脆的是只恨容易断硬的是不容易断为什么一个炉子的硅棒有这些差距呢什么原因造成的？

发表于 2010-9-9 15:37:17

这主要看你们的炉子设计的情况了：1、SCI系统是否可靠。2、气流是否均匀。3、钟罩冷却是否正常。

发表于 2010-9-9 16:14:41

温度分布不均的原因

发表于 2010-9-10 14:39:04

这与拉制的硅芯质量也有一定的关系，另外进料的喷嘴不好物料停留时间差异大。

发表于 2010-9-10 15:12:52

我公司以前也遇到过，是温度分布不均的问题，经过改造后就没有出现过楼主所说问题

发表于 2010-9-13 08:21:20

生长出的硅致密与否

发表于 2010-9-13 08:21:27

生长出的硅致密与否

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