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硅烷热分解气相沉积多晶硅

发表于 2010-8-31 16:15:51 | 显示全部楼层 |阅读模式

硅烷热分解气相沉积多晶硅

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发表于 2010-9-1 14:08:33 | 显示全部楼层

好资料。
谢谢LZ。
请问：你是搞硅烷法的吗？

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发表于 2010-9-1 14:09:49 | 显示全部楼层

只是发资料，何以认为就是搞硅烷法的

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发表于 2010-9-18 10:11:42 | 显示全部楼层

zhangweicheng很活跃，能不能交个朋友？

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发表于 2010-9-18 12:21:25 | 显示全部楼层

1980年的资料就不要发了吧，还是学院的院报。。。

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