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多晶硅生长后期为什么会裂棒?

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发表于 2009-8-4 10:13:02 | 显示全部楼层 |阅读模式
多晶硅生产过程中,在后期Φ90以后裂棒的原因?
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发表于 2009-8-4 11:43:52 | 显示全部楼层
在后期,由于棒粗了,从棒芯到棒表面的径向温度梯度就大了,热应力随之增加,在内部分子与分子之间的作用力变大,受力不平衡,就出现了裂缝
这个跟表面的生长情况也有关系,长得均匀的,内部作用力也更均匀,出现裂缝的概率小,长得不均匀的,更容易裂
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发表于 2009-8-4 11:53:49 | 显示全部楼层
受到热应力作用,各处受力不均导致裂棒,有时候开炉时由于降温差异,也会出现这种情况。
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发表于 2009-8-5 19:50:57 | 显示全部楼层
横梁那的热应力不均匀,跟温度控制有关
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发表于 2009-8-9 02:31:43 | 显示全部楼层
关键是温度的把握不好,温度梯度太大
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发表于 2010-9-24 15:43:46 | 显示全部楼层
我认为主要是温度控制的不好造成的。
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