三氯氢硅中的磷元素测量

请问三氯氢硅中的磷元素如何测量？ ICPMS的效果不理想，数据重现性不好。。。ICPOES的检出限不好。。。AAS怎么样？它测磷的检出限大概是多少？

AA一般只用做金属测定，基本就不要考虑了，OES测定P的检出限还是有深挖掘的潜力的，我们一般用靠近紫外的特征谱线测定，ＩＣＰ—ＭＳ之间测定Ｐ受机体硅影响很大，也就是你做样的水平是关键，你可以尝试测试ＰＯ来规避机体硅的问题，这些都是很头痛的问题，我们可以相互讨论，也希望论坛同行高手们不吝赐教，在下在这里抛砖引玉啦。我的ＱＱ１２１３６７８０　Ｅｍａｉｌ：ｓｍｉｌｅｕｏｇｇ＠１６３.ｃｏｍ

是不是可以考虑下联用技术。采用别的仪器将磷杂质分离再送入ICPMS里测定，比如制备色谱。

考虑一下用UV检测。

期待新仪器，个人觉得以上的检测仪器有些不适合，有些是技术上要求非常高的，经验足的。否则还是得重新分析。