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大化工论坛»大化工论坛 › 专业技术分类 › 多晶硅新能源 › 多晶硅生产中碳含量偏高,是什么原因
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多晶硅生产中碳含量偏高,是什么原因

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发表于 2010-9-27 15:57:27 | 显示全部楼层 |阅读模式
多晶硅生产中碳含量偏高,是什么原因?      各位大虾来讨论一下
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 楼主| 发表于 2010-9-27 15:59:03 | 显示全部楼层
我个人认为：氢化炉在1300度以上时，它的石墨罩会和氢气生成CH4，含量高的时候能达到几个PPM
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 楼主| 发表于 2010-9-27 16:00:03 | 显示全部楼层
碳浓度超标，会使硅器件击穿电压降低，漏电流增加
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发表于 2010-9-27 16:09:47 | 显示全部楼层
精馏产品中有含碳物质，H2中CH4、CO、CO2含量过高。
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发表于 2010-9-28 10:55:25 | 显示全部楼层
回收系统中的活性炭会不会跟氢气一起进入生产环节呢
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发表于 2010-9-29 10:55:31 | 显示全部楼层
涉及的面太广了，原料三氯氢硅中含碳，回收活性炭吸附时有可能引入碳，设备的材质如碳钢的
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发表于 2010-9-30 12:25:32 | 显示全部楼层
也要考虑一下氢压机和原料提纯部分带来的碳
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