三氯氢硅和四氯化硅是否具有腐蚀性？重谢

在不含水的前提下，三氯氢硅和四氯化硅对设备有腐蚀性吗？毒性如何（中毒、高、极度）？
一般如何控制介质中的含水量？有监测点吗？
一家企业说氯硅烷的罐子不能开罐检验，会进水生成盐酸所以想不开罐了，另一台尾气吸收塔是用来吸收反应尾气中的四氯化硅，据说因为活性炭不能开罐，也想不开罐做检验，但是该设备有夹套，外检做不到内筒，怎么办？我们压力很大啊，有机硅多晶硅行业都不开罐检验吗？有没有由于设备失效出过事故啊？

没有水的话对设备的腐蚀性不强，腐蚀主要是CL，在极低的PPM含水量下腐蚀能力加强

回复 1# realben
个人认为：
1）视水份含量而定。奥氏体不锈钢对氯离子很敏感，如果有水肯定腐蚀。如果干燥的氯硅烷，是没有问题的。这也是设计院选用不锈钢的原因。多晶硅生产中物料中的水份控制得非常严格，正常情况下没有问题。
2）压力容器的定期检查是必要的。只要开罐前彻底置换，开罐会立即清洗，对容器的腐蚀是很小的。

回复 3# 9tnt
    我接触的这两个都是碳钢SA516的相当于16MnR。不存在Cl离子开裂因素，只是考虑进水会水解成HCl的强腐蚀性。还有请教贵厂都开罐吗？采取的就是“开罐前彻底置换，开罐会立即清洗”的方案吗？效果如何？我接触的厂家不想开罐，我们有点担心风险太大。

我赞同“开罐前彻底置换，开罐后立即清洗，再用氮气催促干净，不留水分”，这样对设备的影响就不大

碳钢就更没有关系了。放心的洗，洗完尽快吹干，氮气保护。其实可能其它用户最头疼的不是腐蚀，而是再次投用前的清洗要彻底，要不然，对产品的铁离子污染。

开罐前彻底置换，开罐后立即清洗，再用氮气催促干净，不留水分：个人认为是可行的。

不要说开罐检查了，我遇到过几次开罐进去电焊的事情。也是同楼上说的开罐前彻底置换，处理好后立即清洗，再用氮气催扫干净使露点合格就完了。有活性炭的要麻烦点，要再生好，否则放出来的活性碳含大量四氯化硅很危险。

先置换 氮气保护一段时间 开罐 氮气排空 严格控制就行