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如何使硅棒长得快长得好、低电耗、无夹层、高收率、不倒棒?

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发表于 2010-11-9 20:54:00 | 显示全部楼层
回复 6# 王道凤
    Wonderful,可以趁夜班等空闲时间去现场转转啊
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发表于 2010-11-9 21:09:38 | 显示全部楼层
多晶硅还原工段本来就是要寻找能耗与外观质量之间的平衡点,对于如何在尽量降低能耗的同时能保证良好的外观,这个课题我们公司研究了很多,但现在一直处于摸索阶段。
降低能耗,就是要提高沉积速度,可是沉积速度提高了必然导致外观粗糙,希望大家能有比较好的想法。
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