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清洗硅棒时产生的酸雾怎样处理?

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发表于 2010-11-9 21:02:42 | 显示全部楼层 |阅读模式
清洗硅棒时产生的酸雾怎样处理?主要会那些有害气体?
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发表于 2010-11-9 21:10:20 | 显示全部楼层
主要会那些有害气体是氮化物。碱洗处理。
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发表于 2010-11-9 21:10:24 | 显示全部楼层
主要会那些有害气体是氮化物。碱洗处理。
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发表于 2010-11-9 21:10:51 | 显示全部楼层
贵公司的不会没处理,直接排放吧?
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发表于 2010-11-9 21:11:06 | 显示全部楼层
贵公司的不会没处理,直接排放吧?
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发表于 2010-11-10 09:04:08 | 显示全部楼层
一氧化氮和二氧化氮的混合气体,还有一些由于反应放热挥发出来的酸雾。
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 楼主| 发表于 2010-11-10 09:11:18 | 显示全部楼层
怎么会直接排放呢,只是看看大家是怎么处理的,有什么改进的地方!
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