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石墨变色原因

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发表于 2010-11-17 12:08:42 | 显示全部楼层 |阅读模式
多晶硅生产150mm直径后,有一项报裂棒,按照正常程序停炉,出炉时多晶硅表面正常,裂棒项的石墨座呈彩色甚至墨兰色,未裂棒项石墨座颜色正常,检查电极未发现漏气漏水,分析多晶硅基硼电阻率、少子寿命、氧含量超过电子一级、基磷电子率达到了电子三级、碳含量达到太阳能一级水平。但石墨座为什么颜色异常,漏水?漏油?三氯氢硅或氢气含氧高?石墨质量?石墨清洗和煅烧不到位?······请各位行家根据自己运行经验和理论知识展开讨论,谢谢各位参与!
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