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三氯氢硅合成料差大小与流化状态!!!

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发表于 2010-11-16 10:30:14 | 显示全部楼层 |阅读模式
大家一起讨论一下三氯氢硅合成炉料差大小与炉内流化状态以及温度的关系啊 !!!
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发表于 2010-11-17 07:51:28 | 显示全部楼层
回复 1# baobeiwwqq
    我个人认为提供的氯化氢压力一定时,料层低压差小硫化效果好。
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发表于 2010-11-18 15:03:11 | 显示全部楼层
一切以数据说话,可以通过一周、一月对合成料的产量,硅粉的消耗,氯气的消耗,尾气的成分进行分析判断,不同的工况,应该通过摸索出一套适合自己的工艺参数。
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 楼主| 发表于 2010-11-19 11:11:57 | 显示全部楼层
回复 3# 炸你象猪头
    数据分析出来,怎样的数据才是最适合的啊?按比例来吗?
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 楼主| 发表于 2010-11-19 11:13:26 | 显示全部楼层
回复 2# lifayang21
    低压可以,但是小料差时反应就不会很充分,放出的热量少,这样对合成炉温度控制很有影响啊
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