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物理法多晶硅-从源头做起,越纯越好

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发表于 2011-1-6 15:48:28 | 显示全部楼层 |阅读模式
我认为物理法多晶硅采用的金属硅越纯越好,甚至应当从石英和还原剂(碳、石墨等)做起,还原炉和工艺可以改进。从源头做起,石英和还原剂能达到4n和6n,由于石英原料的选择面非常大,完全可以选用铝、硼、磷含量少的石英,石英原矿的质量和数量有保证,提纯工艺针对性强,多晶硅的质量才稳定。锦州新世纪和河南方城都介绍过这样的思路,但我认为他们的还原工艺仍未跳出矿热炉框框,金属硅纯度不高、后续工艺难度必然增大。
      我在俄罗斯,和一批俄方专家搞物理法多晶硅,有兴趣的朋友可以交流。QQ:877417647,dise2006@mail.ru
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