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大化工论坛»大化工论坛 › 专业技术分类 › 多晶硅新能源 › 单晶硅生产工艺中，对氩气的要求？
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单晶硅生产工艺中，对氩气的要求？

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发表于 2011-1-8 14:45:32 | 显示全部楼层 |阅读模式
大家好！谁能告诉我单晶硅生产工艺中，对氩气保护气的质量要求？主要是氩气中氧气和氮气杂质的含量是多少？还有就是对这些杂质的最大容忍度是多少？谢谢！！
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 楼主| 发表于 2011-1-9 16:54:40 | 显示全部楼层
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