三氯氢硅合成炉塌料问题

发表于 2010-12-6 13:32:41

请问一下各位坛友！造成三氯氢硅合成炉塌料的原因，除了氯化氢的进气量减小、加入硅粉比较多等原因造成的塌料，还有没有其他的原因造成塌料现象？？
此外，一套HCL合成炉、一个HCL储罐供给两套三氯氢硅合成炉，然后经过两套干法，进入一套洗涤塔。如果其中一套三氯氢硅合成炉B出现异常现象，需要进入氮气鼓一下，这样炉压自然会出现上涨，这对另外一套三氯氢硅合成炉A有何影响？会不会影响三氯氢硅炉A出气量，导致塌料？
谢谢各位坛友!!

发表于 2011-1-10 12:29:05

系统的压力及硅粉的干燥度也会造成踏床。

发表于 2011-1-13 11:53:56

不了解你的工艺路线，很难解答

发表于 2011-1-13 12:43:04

这种情况下，短时间内不会导致塌料。如果你的A压力低于B的出口压力时间稍微久一点，就有可能导致塌料

发表于 2011-1-13 20:23:00

AB合成炉应该是两个单独的系统，只是HCL由一根总管分出的两个分管。B进氮气只要控制工艺排放，不让B的压力冲的太高超过HCL的供气压力导致反倒就应该不会影响A吧，我们这是一个HCL系统供三台合成炉，同时运行也经常给单个炉子进氮气，只要控制炉子的排气控制炉子的压力就没出现过影响其他炉子运行。

发表于 2011-1-13 20:58:41

楼上精辟啊，塌了料补点氮气啊？

发表于 2011-1-14 08:58:33

在流化床中的术语叫坐床，这个主要是你进气量过小，过滤器堵塞，加硅粉来量多大

发表于 2011-1-16 23:42:27

硅粉干燥不到位，硅粉粒度过大，进气量过小，炉内硅粉量过多，这些都会是导致踏料的直接原因

发表于 2011-1-22 15:06:13

硅粉粒度和HCL供气压力的问题吧。。后续工序有堵塞引起系统压力升高，HCL就通的少了。。

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